在半導體制造行業，氮氣發揮著至關重要的作用。以下是對其作用的重述：

在半導體生產過程中，氮氣常被用作保護氣體。由于其化學性質穩定，不易與其他物質發生反應，因此可以有效地隔絕空氣中的氧氣、水蒸氣等可能對半導體材料產生不良影響的成分，從而保持生產環境的純凈。此外，氮氣還能幫助控制生產過程中的溫度，確保半導體材料在穩定的溫度環境下進行處理，進一步提高產品質量和穩定性。

同時，氮氣在半導體制造中的另一重要應用是作為載氣。在將某些氣體輸送到反應室時，氮氣可以作為載體，確保這些氣體能夠均勻、穩定地分布，有助于實現更精確、更可控的半導體制造過程。

總之，氮氣在半導體制造領域中具有不可替代的作用，從保護生產環境到作為載氣輸送反應物質，都發揮著關鍵作用，為半導體制造行業的高質量發展提供了有力支持。