2025-02-06閱讀量:
半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)壓縮空氣的要求極高,其壓縮空氣通常根據(jù)其純度、干燥度、含油量等指標(biāo)進(jìn)行分類。半導(dǎo)體壓縮空氣的等級(jí)分類一般如下:
等級(jí) | 氣質(zhì)(非水分)含量 | 含水量 | 油含量 | 適用范圍 |
---|---|---|---|---|
常滿級(jí) | ≥99.995% | ≤5mg/m³ | ≤0.003mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的最為敏感的環(huán)節(jié),如光刻機(jī)、掃描電子顯微鏡等高科技制造設(shè)備。 |
超凈級(jí) | ≥99.99% | ≤10mg/m³ | ≤0.01mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各種環(huán)節(jié),如濕法制程、晶圓清洗等。 |
凈級(jí) | ≥99.9% | ≤20mg/m³ | ≤0.1mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的大多數(shù)環(huán)節(jié),如化學(xué)氣相沉積、干法制程等。 |
干凈級(jí) | ≥99.5% | ≤50mg/m³ | ≤0.5mg/m³ | 適用于部分半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié),如氧化爐、退火爐等。 |
保護(hù)級(jí) | ≥98% | ≤100mg/m³ | ≤1mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的非關(guān)鍵環(huán)節(jié),如測(cè)試設(shè)備、輔助設(shè)備等。 |
工業(yè)級(jí) | ≥95% | ≤500mg/m³ | ≤5mg/m³ | 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)之外的設(shè)備,如普通機(jī)械設(shè)備、工廠壓縮空氣等。 |
大氣級(jí) | ≥90% | ≤1000mg/m³ | ≤10mg/m³ | 適用于一些一般性較強(qiáng)的設(shè)備,如石油鉆采、某些全封閉恒溫器等。 |
這些等級(jí)分類旨在滿足不同半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝對(duì)壓縮空氣質(zhì)量的嚴(yán)格要求。在實(shí)際生產(chǎn)中,壓縮空氣的等級(jí)越高,生產(chǎn)成本越高。因此,在保證制程質(zhì)量的前提下,應(yīng)盡量使用低等級(jí)的壓縮空氣,以降低生產(chǎn)成本。半導(dǎo)體壓縮空氣等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體生產(chǎn)中扮演著至關(guān)重要的角色,對(duì)于保證生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的提高都具有重要作用。
壓縮空氣的壓力范圍因應(yīng)用需求而異,具體數(shù)值取決于壓縮機(jī)的類型、設(shè)計(jì)規(guī)格、工作條件以及所需的應(yīng)用場(chǎng)景。以下是對(duì)壓縮空氣壓力的一般說明:一、常規(guī)范圍在常規(guī)應(yīng)用中,壓縮空氣
壓縮空氣吹干所需的壓力因應(yīng)用場(chǎng)景、被清潔物體的特性和所需達(dá)到的清潔效果而異。以下是一些不同應(yīng)用場(chǎng)景下壓縮空氣吹干所需壓力的概述:一、一般工業(yè)應(yīng)用 常見壓力范圍:在一
壓縮空氣吹干所需的壓力因應(yīng)用場(chǎng)景和具體要求的不同而有所差異。以下是幾個(gè)常見應(yīng)用場(chǎng)景下的壓縮空氣吹干所需壓力范圍:一、一般工業(yè)應(yīng)用 空氣壓力范圍:一般情況下,壓縮空氣吹
壓縮空氣在乳制品廠的使用非常廣泛,主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:一、生產(chǎn)線設(shè)備驅(qū)動(dòng) 灌裝機(jī)、包裝機(jī)、混合機(jī)、攪拌機(jī)等:在乳制品的生產(chǎn)過程中,灌裝機(jī)、包裝機(jī)、混合機(jī)、攪拌機(jī)等設(shè)
在藥廠中,壓縮空氣系統(tǒng)扮演著至關(guān)重要的角色。它廣泛應(yīng)用于藥品生產(chǎn)的多個(gè)環(huán)節(jié),成為保障藥品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。以下是藥廠壓縮空氣系統(tǒng)的主要作用:一、動(dòng)力源 制藥設(shè)
工業(yè)壓縮空氣的安全使用至關(guān)重要,以下是一些關(guān)鍵的安全注意事項(xiàng):一、設(shè)備選擇與安裝 使用適當(dāng)耐壓的設(shè)備和配件: 壓縮空氣儲(chǔ)存時(shí),壓縮機(jī)、儲(chǔ)氣罐、氣管、閥門等設(shè)備和配件必須
壓縮空氣的壓力可以達(dá)到很高的水平,但具體能到多少公斤(這里指的是壓力單位,1公斤約等于0.098MPa)取決于多種因素,包括壓縮機(jī)的類型、設(shè)計(jì)規(guī)格、工作條件以及所需的應(yīng)用。以下是
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壓縮空氣在工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用,幾乎可以遍及每個(gè)行業(yè)領(lǐng)域中,主要的作用不是提供動(dòng)力源,就是提供氣源。隨著應(yīng)用行業(yè)領(lǐng)域的不同,對(duì)其要求也是不一樣。以下是壓縮空氣在工業(yè)中的
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